超微量气体分析仪(测CO2) 型号:BSR1-360E	货号:
概要 它是可以对用于半导体工艺的混合气体 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不纯物进行超高灵敏度、高精度 (最小检测感度10ppb) 连续检测的装置。由于采用了交替流动调制方式，可以和零气体不断比较的同时进行检测，所以没有零点漂移，能够获得长期稳定的检测值。由于它通过19英寸RACK方式进行了集中，所以系统升级也很容易。最适于半导体气体制造设备的质量管理 。 特点 1分析仪最大可以搭载CO/CO2/CH4中的2种成分，2种成分可同时以数字形式显示浓度。 采用了交替流动调制方式，没有零点漂移，可以获得长期稳定的连续检测值。 不需要进行光学调整，维护性得到了提高。 技术规格 红外法，取样或连续测定气体中的超微量CO、CO2、CH4等含量，检测范围: 0-1/2/5/10ppm，数显。 应用 空气设备CO2含量的在线监测	产品图片