高压电源供应器-机架型 型号:DY17-ECA(Bi-Polar type 6w 30w)	货号:
产品特色 ‧ 特别是为静电吸盘的应用而设计。 ‧ 2组输出通道(1kV to 5kV model)。 ‧ 双极性输出。 ‧ 内建RF 泸波器(选购)。 ‧ 10ms内快速响应电子输出极性改变。 ‧ 不使用继电器，因此可靠性高及使用寿命长。 产品说明 此系列是专为静电吸盘应用而特别发展的高压电源供应器。藉由DC输出的 ON/OFF 可吸附晶圆或将其释放。透过输出极性反转,亦可达到此功能。此电源供应器适合单通道(1ch)双极性(bi-polar)输出或双通道(2ch)单极性(uni-polar)输出。	产品图片