中西化玻仪器
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高压电源供应器-模块型
型号:
DY17-MEC(10w / ±1kV to ±10kV)
货号:
产品特色
‧ 特别是为静电吸盘的应用而设计。
‧ 透过输出极性反转，可吸附晶圆或将其释放。
‧ 极性改变及电压输出由远程接口控制。
‧ 显示输出电压和电流。
产品说明
此系列是专为静电吸盘应用所开发的高压电源供应器。轻巧的体积易于整合至系统内。晶圆释放及极性改变由远程接口控制。
产品图片
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