扫描探针显微镜 型号:GG326-CSPM4000

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技术参数 ■ 集成原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(LFM)、扫描隧道显微镜(STM)、磁力显微镜(MFM)和静电力显微镜(EFM) ■ 原子力显微镜具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式 ■ 具有I-V曲线和力曲线等测量分析功能 ■ 具有图形刻蚀模式和矢量扫描模式的纳米加工技术 ■ 样品尺寸增大至直径50mm、厚度30mm ■ 操作简便，只需要更换探针架，即可切换于STM和AFM等模式 ■ 主控制系统采用德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP),每秒可实现高达10亿次32位运算 ■ 主控制系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)与计算机连接 ■ 全数字控制,系统状态、仪器类型、扫描器和探针架参数智能识别和控制 ■ 基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理分析软件 ■ 扫描图像BMP/TIFF全兼容文件格式，当前全部工作环境参数同步保存 ■ 可连续采集、存储和重现动态过程（纳米电影） ■ 样品粒度和粗糙度自动分析 ■ 针尖表征及图像重建功能(针尖形貌估计/图像重建/样品模拟扫描/用已知针尖重建图像) ■ 按功能模块划分的纵向插卡式结构，便于日后系统维护和升级 ■ 可附加第二显示器和光学显微辅助系统 技术指标 • 系统功能 原子力显微镜（AFM），包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起等多种工作模式 摩擦力显微镜（LFM） 扫描隧道显微镜（STM） 纳米加工和操纵，包括图形刻蚀模式和矢量扫描模式 • 分辨率 原子力显微镜(AFM)：横向 0.26nm, 垂直 0.1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜(STM)：横向 0.13nm, 垂直 0.01nm（以石墨晶体标定） • 参数性能 电流检测灵敏度：≤10pA 力检测灵敏度：≤5pN 图像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024 扫描角度：0～360° 扫描频率：0.1～100Hz 预置隧道电流：0.001～10nA 偏置电压：-10～+10V • 电子控制系统 中央处理器：德州仪器（TI）32位数字信号处理器(DSP)，运算速度150MHz 20通道16-bit DAC，建立时间1.5微秒 20通道16-bit ADC，采样率500kHz 通信接口：10M/100M快速以太网（Fast Ethernet 10/100）接口 • 机械性能 样品尺寸：最大可达直径50mm，厚度30mm 全自动步进电机控制进样系统：行程30mm，定位精度50nm /步 • 计算机系统 Pentium4-2.8GHz，256MB RAM，80GB HDD，CD-ROM，17”液晶显示器 基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理软件 CSPM4000扫描探针显微镜是本原历经18年技术积淀而推出的新一代产品，在控制系统性能、探头结构和性能、软件 功能等方面均有大幅技术提升。CSPM4000同时也是本原公司所承担的国家高技术研究发展计划（863计划）项目——“扫描探针 显微集成系统的研制”项目的成果转化产品，集成了本公司在该项目攻关过程中所取得的多项技术创新。 CSPM4000采用单一的扫描隧道/原子力探头，集成扫描隧道、原子力、摩擦力、磁力和静电力显微镜功能，工作模式包括 接触、轻敲、相移成像、抬起和纳米加工等。 CSPM4000采用32位浮点数字信号处理器、10M/100M快速以太网接口和高速双16位 AD/DA采集转换，系统功能、稳定性、控制采集精度和速度及可扩展性均为国内同类仪器的最高水平。

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